照明技术是旨在将光用于人类的生活与活动的技术,不仅直接供生活上使用,从广泛意义上讲,也包含人类经营的企业中有效利用的人造光源,除可见光外,应用从紫外线到红外线领域光发射的各种技术均属于照明领域。其中,紫外线的应用范围概要如表1所示。作为工业上的照明技术,半导体和玻璃基板等的洗净、光致抗蚀剂(photoresist)的清除、树脂的硬化、表面熔析性和粘结性的改善等表面处理技术,均应用了紫外线领域的光发射。
在这一紫外线领域的应用中,现有水平的放电型光源成为主流。这种光源是利用了水银和稀有气体与卤素气体激励的激/基态复合物(excimer)所发的光。而且,在高新技术最前沿的半导体产业加工技术中,将光源的波长到极端紫外区(EUV)的短波进行长化,对实现50nm级的微细加工正着手研发。
另一方面,对LED光源的短波也进行了长化,接近紫外到次深紫外区。这种LED的紫外线光源,应用于生物和医学上所谓的杀菌、灭菌技术,或者皮肤疾患的治疗等领域。特别近年来,以植物园林照明为首的农林业领域,照明应用技术正取得惊人的发展。人工光源的应用,不仅简单的促进植物生育,而且抵抗病虫害的能力也提高,功能性成分的增量,果实的助长成色,幼苗的贮藏等,涌现出形形色色的新技术。此外,收获物的选别和无损检查等领域也在广泛有效发挥着作用。
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